【涂装专利】旋涂装置以及反射防止层用组合物的涂布方法

     申请号：200710112608.3

    名称：旋涂装置以及反射防止层用组合物的涂布方法

    公开(公告)号：CN101091944

    主分类号：B05C11/08(2006.01)I

    申请(专利权)人：精工爱普生株式会社

    地址：日本东京

    发明(设计)人：高田敬介;唐沢勲

    专利代理机构：北京三友知识产权代理有限公司

    代理人：党晓林

    摘要

    本发明提供透镜的旋涂装置以及反射防止层用组合物的涂布方法，用以防止附着物附着在透镜表面上，使外观变得良好。单元(60)具有覆盖保持用具(20)的外壁部(603)，外壁部(603)在与透镜(50)的上部相对的位置上形成有开口部(601)。外壁部(603)的下端部没有到达单元(60)的底部(604)，该下端部与底部(604)之间形成有连通口(605)。在外壁部(603)的外周侧遍及整周设有环状的外周部(606)，外周部(606)与形成在保持用具(20)和外壁部(603)之间的内周部(607)经由连通口(605)互相连通。形成在单元(60)的底部(604)上的储液部(609)的形状为，随着从其中心向单元(60)的外周侧而向下方倾斜。